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Kurze Zykluszeiten: Auf dem Basiswerkzeug konnten bei der Vorabnahme bereits Zykluszeiten von 6 Minuten beim Prägen von PMMA erreicht werden. Damit liegt man unter dem angestrebten Ziel von 10 Minuten. Großformatige Abformung: Die erwähnte Zykluszeit wurde mit einem mikromechanisch gefertigten Formeinsatz erzielt, auf dessen strukturierter Fläche (200 mm Durchmesser) sich 160 Mikrostrukturen für die Abformung von Flusssensorgehäusen befinden. Abformung der mikrooptischen Bank: Mit einer Strukturhöhe von 750µm stellt die mikrooptische Bank die bislang höchste am Institut für Mikrostrukturtechnik abgeformte LIGA - Mikrostruktur dar.

Bei der aktiven Justage werden die zu montierenden Bauteile funktional betrieben und das Nutzsignal detektiert. Die zu montierenden Teile werden in die zu erwartende Position gebracht und so zueinander positioniert, dass das Signal maximiert ist. Bei Erreichen der Position mit maximalem Nutzsignal werden die Teile gefügt. Diese Vorgehensweise sichert die optimale Positionierung der zu montierenden Bauteile ist andererseits aber sehr aufwändig und nicht bei allen mikrooptischen Systemen einsetzbar.

Prägeprozess: Mit der Entwicklung des Heißprägeprozesses für großflächige Formate und kurze Zykluszeiten konnte wegen des Modulcharakters der Werkzeuge schon vor Fertigstellung der Heißprägeanalge begonnen werden. Insbesondere Vorversuche zur Stabilität von Wafern beim Heißprägen in Kombination mit LIGA Formeinsätzen. 2 Ergebnisse Für den Bereich der Abformung können folgende Ergebnisse des Projektes erwähnt werden: Anlagenentwicklung: Die in Zusammenarbeit mit der Fa. Wickert Maschinenbau GmbH entwickelte Anlage wurde aufgebaut und steht funktionstüchtig am Institut für Mikrostrukturtechnik.

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